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Dielektrisch behinderte Barrierenentladungen für großflächige Plasmabehandlungen
Charakterisierung des Betriebsverhaltens
Elektrodengeometrie und Filmverschleiß
Vermeiden der parasitären Entladungen
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Dissertation (PhD)
Dielektrisch behinderte Barrierenentladungen für großflächige Plasmabehandlungen / von Emilia Gabriela Dinu
Place and Date of Creation
2005
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