Dielektrisch behinderte Barrierenentladungen für großflächige Plasmabehandlungen / von Emilia Gabriela Dinu. 2005
Inhalt
- Symbole und Abkürzungen
- Abbildungsverzeichnis
- Tabellenverzeichnis
- Einleitung
- Physikalische Grundlagen
- Einleitung von Nichtgleichgewichtsplasmen
- Relaxation ins thermodynamische Gleichgewicht
- Gase geringer Stoßfrequenz
- Lokal beschränkte Entladungen
- Zeitlich transiente Plasmen
- Durch andere Mechanismen unterstützte Entladungen
- Gasentladungen
- Dielektrisch behinderte Entladungen
- Atmosphärendruck-Glimmentladungen (APGD)
- Die Rolle der Metastabilen in APGD
- Nachweismethoden für die Metastabilen
- Planare dielektrisch behinderte Entladungen
- Typische SBD-Entladungsstrukturen
- Einfluss des Dielektrikums auf die Entladungseigenschaften
- Realisierung der Struktur
- Experimentelle Methoden
- Strom-/Spannungsmessungen
- Gesamtlichtemission (ICCD, Lichtdiode)
- Diodenlaser-Atomabsorptionsspektroskopie
- Konzepte der Spannungsversorgung
- Charakterisierung des Betriebsverhaltens
- Entladungstopologie der SBD in Luft
- Elektrodengeometrie und Filmverschleiß
- Elektrodengeometrie und Elektrodenstrom
- Elektrodenversiegelung und Elektrodenstrom
- Vergleich SBD-CBD
- Charakterisierung der He-Entladung
- Mechanismen der Helium-Entladung
- Entladungsstruktur der SBD
- Konzentration der angeregten He-Atome
- DLAAS
- Räumliche Struktur der Absorption
- Lock-in-Detektion
- Effektive Absorptionslänge
- Überlagerung des Laserstrahls und der Entladung
- Zeitgemittelte Ergebnisse
- Druckabhängigkeit der Metastabilenkonzentration
- Horizontale Profile
- Vertikale Profile
- Bestimmung der Gastemperatur
- Zeitentwicklung der Entladung
- Antwort auf eine Pulsanregung
- Muster der Lichtemission
- Zeitaufgelöste Absorptionsmessungen
- Asymmetrie der katodischen und anodischen Halbperiode
- Vergleich zwischen verschiedenen Absorptionslinien
- Sinusanregung
- Entladungsstruktur der CBD
- Schlussfolgerungen
- Anwendungen
- Oberflächenbehandlung von Metallen
- Oberflächenbehandlung von Polypropylen
- Die experimentelle Anordnung
- Kontaktwinkelmessungen
- Einfluss der Behandlungszeit
- Einfluss der Gasmischung
- Einfluss des Abstandes von der Elektrode
- Schlussbemerkung
- Oberflächenbehandlung von Textilien
- Neuartiges Quellenkonzept
- Schlussbemerkungen/Ausblick
- Angaben der planaren Strukturen
- Grotrian-Diagramm für atomares Helium
- Fraktale Gasverteilung
- Literaturverzeichnis
- Danksagung