Dielektrisch behinderte Barrierenentladungen für großflächige Plasmabehandlungen / von Emilia Gabriela Dinu. 2005
Content
Symbole und Abkürzungen
Abbildungsverzeichnis
Tabellenverzeichnis
Einleitung
Physikalische Grundlagen
Einleitung von Nichtgleichgewichtsplasmen
Relaxation ins thermodynamische Gleichgewicht
Gase geringer Stoßfrequenz
Lokal beschränkte Entladungen
Zeitlich transiente Plasmen
Durch andere Mechanismen unterstützte Entladungen
Gasentladungen
Dielektrisch behinderte Entladungen
Atmosphärendruck-Glimmentladungen (APGD)
Die Rolle der Metastabilen in APGD
Nachweismethoden für die Metastabilen
Planare dielektrisch behinderte Entladungen
Typische SBD-Entladungsstrukturen
Einfluss des Dielektrikums auf die Entladungseigenschaften
Realisierung der Struktur
Experimentelle Methoden
Strom-/Spannungsmessungen
Gesamtlichtemission (ICCD, Lichtdiode)
Diodenlaser-Atomabsorptionsspektroskopie
Konzepte der Spannungsversorgung
Charakterisierung des Betriebsverhaltens
Entladungstopologie der SBD in Luft
Elektrodengeometrie und Filmverschleiß
Elektrodengeometrie und Elektrodenstrom
Elektrodenversiegelung und Elektrodenstrom
Vergleich SBD-CBD
Charakterisierung der He-Entladung
Mechanismen der Helium-Entladung
Entladungsstruktur der SBD
Konzentration der angeregten He-Atome
DLAAS
Räumliche Struktur der Absorption
Lock-in-Detektion
Effektive Absorptionslänge
Überlagerung des Laserstrahls und der Entladung
Zeitgemittelte Ergebnisse
Druckabhängigkeit der Metastabilenkonzentration
Horizontale Profile
Vertikale Profile
Bestimmung der Gastemperatur
Zeitentwicklung der Entladung
Antwort auf eine Pulsanregung
Muster der Lichtemission
Zeitaufgelöste Absorptionsmessungen
Asymmetrie der katodischen und anodischen Halbperiode
Vergleich zwischen verschiedenen Absorptionslinien
Sinusanregung
Entladungsstruktur der CBD
Schlussfolgerungen
Anwendungen
Oberflächenbehandlung von Metallen
Oberflächenbehandlung von Polypropylen
Die experimentelle Anordnung
Kontaktwinkelmessungen
Einfluss der Behandlungszeit
Einfluss der Gasmischung
Einfluss des Abstandes von der Elektrode
Schlussbemerkung
Oberflächenbehandlung von Textilien
Neuartiges Quellenkonzept
Schlussbemerkungen/Ausblick
Angaben der planaren Strukturen
Grotrian-Diagramm für atomares Helium
Fraktale Gasverteilung
Literaturverzeichnis
Danksagung