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Hoffmann, Lukas
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Persons = "Hoffmann, Lukas"
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Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften
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Spatial atomic layer deposition of electrically (non-)conductive gas diffusion barriers
Hoffmann, Lukas
;
Bergische Universität Wuppertal
Elektronische Ressource, Wuppertal, 23.04.2018
