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oai:elekpub.bib.uni-wuppertal.de:35563572020-12-21T18:44:09ZubwhsmigoaDoctoralThesis

vls/2603noah-balancer_mdapi1elekpub.bib.uni-wuppertal.devdNumerische Strömungssimulation in 13,56-MHz-Hohlkathoden-Plasmajet-Plasmaquellen für OberflächenprozesseSchaffert, Volker1971-VerfasserauttextthesisthesisdoctoralThesisgwXA-DE2004single unitgerelectronicElektronische Ressourceelectronic resourceremote1 Computerdatei (ca. 18,8 MB) Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, ca. 111 KB)von Volker SchaffertWuppertal, Univ., Diss., 2004Systemvoraussetzungen Internet-Anschluss; Acrobat-ReaderWuppertal76526397990131947140206441urn:nbn:de:hbz:468-20040309Schaffert, Volker: Numerische Strömungssimulation in 13,56-MHz-Hohlkathoden-Plasmajet-Plasmaquellen für OberflächenprozesseDruckausg. u.d.T.HT014062655http://elpub.bib.uni-wuppertal.de/edocs/dokumente/fbe/elektrotechnik/diss2004/schaffert/Open AccessRS INC 1.0oaDoctoralThesispublicrakwb04062820250111095504.0HT014062666ger600 https://elekpub.bib.uni-wuppertal.de//domainresource/static/graphics/connectors/viewerLogo.gifWuppertal : Bergische Universität Wuppertalreserved https://ub-wuppertal.digibib.net/search/katalog/record/(DE-605)HT014062666 https://elekpub.bib.uni-wuppertal.de/id/3556357 https://elekpub.bib.uni-wuppertal.de/i3f/v20/3556357/manifest https://elekpub.bib.uni-wuppertal.de/proto_ftsearch/3556357