2026-09-18T14:56:06Zhttps://elekpub.bib.uni-wuppertal.de/oai/

oai:elekpub.bib.uni-wuppertal.de:35549382020-12-21T18:41:30ZubwhsmigoaDoctoralThesis

vls/2603noah-balancer_mdapi1elekpub.bib.uni-wuppertal.devdExperimentelle Untersuchung des Silizium-Sputterns in einer ECR-Mikrowellen-Ionenquelle mittels Cavity Ringdown SpectroscopyExperimentelle Untersuchung des Silizium-Sputterns in einer ECR-Mikrowellen-Ionenquelle mittels Cavity-Ringdown-SpectroscopyGeisler, StefanVerfasserauttextthesisthesisdoctoralThesisgwXA-DE2002single unitgerelectronicElektronische Ressourceelectronic resourceremote1 Computerdatei (ca. 2,28 MB) Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, Verzeichnis der Konstanten, Symbole und Abkürzungen, Kurzfassung, Abstract, ca. 69 KB)von Stefan GeislerWuppertal, Univ., Diss.Systemvoraussetzungen Internet-Anschluss; Acrobat-ReaderWuppertal76460617990119089030206441urn:nbn:de:hbz:468-20030027Geisler, Stefan: Experimentelle Untersuchung des Silizium-Sputterns in einer ECR-Mikrowellen-Ionenquelle mittels Cavity Ringdown SpectroscopyDruckausg. u.d.T.HT013585873http://elpub.bib.uni-wuppertal.de/edocs/dokumente/fb13/diss2002/geisler/Open AccessRS INC 1.0oaDoctoralThesispublicrakwb03022020250111101420.0HT013585884ger600 https://elekpub.bib.uni-wuppertal.de//domainresource/static/graphics/connectors/viewerLogo.gifWuppertal : Bergische Universität Wuppertalreserved https://ub-wuppertal.digibib.net/search/katalog/record/(DE-605)HT013585884 https://elekpub.bib.uni-wuppertal.de/id/3554938 https://elekpub.bib.uni-wuppertal.de/i3f/v20/3554938/manifest https://elekpub.bib.uni-wuppertal.de/proto_ftsearch/3554938