TY - THES AU - Schaffert, Volker DP - Bergische Universität Wuppertal LA - ger N1 - Wuppertal, Univ., Diss., 2004 N1 - Systemvoraussetzungen Internet-Anschluss; Acrobat-Reader PB - Bergische Universität Wuppertal PY - 2004 SP - 1 Computerdatei (ca. 18,8 MB) Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, ca. 111 KB) TI - Numerische Strömungssimulation in 13,56-MHz-Hohlkathoden-Plasmajet-Plasmaquellen für Oberflächenprozesse UR - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:468-20040309 Y2 - 2025-02-16T06:57:50 ER -