TY  - THES
AU  - von Volker Schaffert
DA  - 2004
DP  - Bergische Universität Wuppertal
LA  - ger
N1  - Wuppertal, Univ., Diss., 2004
PB  - Bergische Universität Wuppertal
PY  - 2004
SP  - 1 Computerdatei (ca. 18,8 MB)
TI  - Numerische Strömungssimulation in 13,56-MHz-Hohlkathoden-Plasmajet-Plasmaquellen für Oberflächenprozesse
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:468-20040309
Y2  - 2024-11-22T02:12:56
ER  -