TY  - THES
AU  - Hoffmann, Lukas
CY  - Wuppertal
DA  - 2018
DP  - Bergische Universität Wuppertal
LA  - eng
N1  - Gesehen am 13.09.2018
N1  - Langzeitarchivierung gewährleistet, LZA
N1  - Bergische Universität Wuppertal, Dissertation, 2018
PB  - Bergische Universität Wuppertal
PY  - 23.04.2018
SP  - 1 Online-Ressource (XV, 148 Seiten)
TI  - Spatial atomic layer deposition of electrically (non-)conductive gas diffusion barriers
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:468-20180906-095850-9
Y2  - 2024-12-04T08:40:36
ER  -