TY  - THES
AU  - von Stefan Geisler
DA  - 2002
DP  - Bergische Universität Wuppertal
LA  - ger
N1  - Wuppertal, Univ., Diss.
PB  - Bergische Universität Wuppertal
PY  - 2002
SP  - 1 Computerdatei (ca. 2,28 MB)
TI  - Experimentelle Untersuchung des Silizium-Sputterns in einer ECR-Mikrowellen-Ionenquelle mittels Cavity Ringdown Spectroscopy
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:468-20030027
Y2  - 2024-11-24T09:46:05
ER  -