TY  - THES
AU  - Geisler, Stefan
DP  - Bergische Universität Wuppertal
LA  - ger
N1  - Wuppertal, Univ., Diss.
N1  - Systemvoraussetzungen Internet-Anschluss; Acrobat-Reader
PB  - Bergische Universität Wuppertal
PY  - 2002
SP  - 1 Computerdatei (ca. 2,28 MB) Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, Verzeichnis der Konstanten, Symbole und Abkürzungen, Kurzfassung, Abstract, ca. 69 KB)
TI  - Experimentelle Untersuchung des Silizium-Sputterns in einer ECR-Mikrowellen-Ionenquelle mittels Cavity Ringdown Spectroscopy
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:468-20030027
Y2  - 2026-01-17T11:39:32
ER  -