TY - THES AU - von Gennady Fedosenko DA - 2002 DP - Bergische Universität Wuppertal LA - ger N1 - Wuppertal, Univ., Diss., 2002 PB - Bergische Universität Wuppertal PY - 2002 SP - 1 Computerdatei (ca. 6,97 MB) TI - Plasmaunterstützte Abscheidung diamantähnlicher Schichten für medizinische Anwendungen: Plasmawerkzeuge und Mechanismen UR - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:468-20020275 Y2 - 2024-11-22T06:30:46 ER -