TY  - THES
AU  - von Christian Soll
DA  - 2000
DP  - Bergische Universität Wuppertal
LA  - ger
N1  - Wuppertal, Univ., Diss.
PB  - Bergische Universität Wuppertal
PY  - 2000
SP  - 1 Computerdatei (ca. 5,70 MB)
TI  - Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:468-20020045
Y2  - 2024-11-22T21:02:46
ER  -