TY - THES AU - Soll, Christian DP - Bergische Universität Wuppertal LA - ger N1 - Wuppertal, Univ., Diss. N1 - Systemvoraussetzungen Internet-Anschluss; Acrobat-Reader PB - Bergische Universität Wuppertal PY - 2000 SP - 1 Computerdatei (ca. 5,70 MB) Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, Symbolverzeichnis, ca. 103 KB) TI - Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr UR - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:468-20020045 Y2 - 2026-01-11T16:45:16 ER -