Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Entladungen bei atmosphärischem Druck : Physik und Anwendungen für nichtthermische Plasmabehandlung von Polymeroberflächen / von Andrej Ignatkov. 2006
Inhalt
- Inhaltsverzeichnis
- Formelzeichen
- Abkürzungen
- Einheiten
- Kurzfassung
- Kapitel 1 Einleitung
- Kapitel 2 Plasmaverfahren zur Behandlung von Polymeren
- 2.1 Nicht-thermische Plasmen
- 2.2 Typen der nicht-thermischen Behandlungsverfahren
- 2.3 Energiekosten
- 2.4 Werkstoffe
- 2.5 Behandlungseffekte
- 2.6 Anwendungsorientierte Betrachtung von Gasentladungen
- 2.6.1 Klassifikation der Entladungstypen
- 2.6.2 Koronaentladungen
- 2.6.3 Streamerbehaftete Entladungen
- 2.6.4 Glimm- und glimmähnliche Entladungen
- 2.7 Zusammenfassende Betrachtungen
- Kapitel 3 Versuchsquellen
- 3.1 Wahl der Anregungsfrequenz
- 3.2 Aufbau und Funktionsprinzip
- 3.3 Anpassungsschaltungen
- 3.4 Betrieb der Plasmaquellen
- 3.5 Zur Theorie des Hohlkathodeneffektes
- Kapitel 4 Experimentelle und theoretische Untersuchungen
- 4.1 Ziel
- 4.2 Diagnostikmethoden
- 4.2.1 Photographie
- 4.2.2 Elektrische Messungen
- 4.2.2.1 Messmethoden und Messgenauigkeit
- 4.2.2.2 Ermittlung elektrischer Parameter
- 4.2.2.3 Fehlerrechnung
- 4.2.3 Spektroskopische Messungen
- 4.3 Ergebnisse der Untersuchungen
- 4.3.1 Zündverhalten der CCRF-Entladungen
- 4.3.2 Zwei Formen der CCRF-Entladungen
- 4.3.3 alpha-Entladung
- 4.3.3.1 Qualitatives Bild der Entladung
- 4.3.3.2 Modellrechnungen zur Bestimmung von Plasmaparametern einer He-Entladung
- 4.3.3.3 Experimentelle Ermittlung von Plasmaparametern
- 4.3.3.4 Randschichtparameter
- 4.3.4 gamma-Entladung
- Kapitel 5 Anwendungen
- 5.1 Werkstoffe und Prozessquellen
- 5.2 Versuchsaufbau
- 5.3 Diagnostikmethoden
- 5.4 Experimentelle Ergebnisse
- 5.4.1 Darstellung der Messwerte
- 5.4.2 Einfluss der Elektrodenpolarität
- 5.4.3 Einfluss des Gasflusses und seiner Zusammensetzung
- 5.4.4 Qualitatives Bild des Behandlungsprozesses
- 5.4.5 Einfluss der Hohlelektroden
- 5.4.6 Einfluss des Elektrodenabstandes
- 5.4.7 Optimierte Behandlungsprozesse
- 5.4.7.1 Inertes Plasma
- 5.4.7.2 O2-haltiges Plasma
- 5.4.7.3 N2-haltiges Plasma
- 5.4.7.4 H2O-haltiges Plasma
- 5.4.8 Behandlung von PP-Membranen
- 5.4.9 Behandlung von PP-Folie
- 5.4.10 Zusammenfassung und Vergleich mit anderen Behandlungsverfahren
- Kapitel 6 Zusammenfassung
- Literaturverzeichnis