de
en
Close
Detailsuche
Bibliotheken
Projekt
Imprint
Privacy Policy
de
en
Close
Imprint
Privacy Policy
jump to main content
Search Details
Quicksearch:
OK
Result-List
Title
Title
Content
Content
Page
Page
Search the document
Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Entladungen bei atmosphärischem Druck : Physik und Anwendungen für nichtthermische Plasmabehandlung von Polymeroberflächen / von Andrej Ignatkov. 2006
Content
Inhaltsverzeichnis
Formelzeichen
Abkürzungen
Einheiten
Kurzfassung
Kapitel 1 Einleitung
1.1 Motivation
1.2 Ziele der Arbeit
1.3 Struktur der Arbeit
Kapitel 2 Plasmaverfahren zur Behandlung von Polymeren
2.1 Nicht-thermische Plasmen
2.2 Typen der nicht-thermischen Behandlungsverfahren
2.3 Energiekosten
2.3.1 Energieeinkopplung ins Plasma
2.3.2 Energieeinkopplung in die Substratoberfläche
2.4 Werkstoffe
2.5 Behandlungseffekte
2.6 Anwendungsorientierte Betrachtung von Gasentladungen
2.6.1 Klassifikation der Entladungstypen
2.6.2 Koronaentladungen
2.6.3 Streamerbehaftete Entladungen
2.6.4 Glimm- und glimmähnliche Entladungen
2.7 Zusammenfassende Betrachtungen
Kapitel 3 Versuchsquellen
3.1 Wahl der Anregungsfrequenz
3.2 Aufbau und Funktionsprinzip
3.3 Anpassungsschaltungen
3.4 Betrieb der Plasmaquellen
3.5 Zur Theorie des Hohlkathodeneffektes
Kapitel 4 Experimentelle und theoretische Untersuchungen
4.1 Ziel
4.2 Diagnostikmethoden
4.2.1 Photographie
4.2.1.1 Messmethode und Messgenauigkeit
4.2.2 Elektrische Messungen
4.2.2.1 Messmethoden und Messgenauigkeit
4.2.2.2 Ermittlung elektrischer Parameter
4.2.2.3 Fehlerrechnung
4.2.3 Spektroskopische Messungen
4.2.3.1 Gastemperatur
4.2.3.2 Bestimmung des Intensitätsprofils einer He-Entladung
4.3 Ergebnisse der Untersuchungen
4.3.1 Zündverhalten der CCRF-Entladungen
4.3.2 Zwei Formen der CCRF-Entladungen
4.3.3 alpha-Entladung
4.3.3.1 Qualitatives Bild der Entladung
4.3.3.2 Modellrechnungen zur Bestimmung von Plasmaparametern einer He-Entladung
4.3.3.3 Experimentelle Ermittlung von Plasmaparametern
4.3.3.4 Randschichtparameter
4.3.4 gamma-Entladung
Kapitel 5 Anwendungen
5.1 Werkstoffe und Prozessquellen
5.2 Versuchsaufbau
5.3 Diagnostikmethoden
5.3.1 Oberflächenenergie
5.3.2 AFM Messungen
5.3.3 Abwaschtest
5.3.4 Erholungstests
5.4 Experimentelle Ergebnisse
5.4.1 Darstellung der Messwerte
5.4.2 Einfluss der Elektrodenpolarität
5.4.3 Einfluss des Gasflusses und seiner Zusammensetzung
5.4.4 Qualitatives Bild des Behandlungsprozesses
5.4.4.1 Inertes Plasma
5.4.4.2 Aktives Plasma
5.4.5 Einfluss der Hohlelektroden
5.4.6 Einfluss des Elektrodenabstandes
5.4.7 Optimierte Behandlungsprozesse
5.4.7.1 Inertes Plasma
5.4.7.2 O2-haltiges Plasma
5.4.7.3 N2-haltiges Plasma
5.4.7.4 H2O-haltiges Plasma
5.4.8 Behandlung von PP-Membranen
5.4.9 Behandlung von PP-Folie
5.4.10 Zusammenfassung und Vergleich mit anderen Behandlungsverfahren
Kapitel 6 Zusammenfassung
6.1 Ausblick
Literaturverzeichnis