Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Entladungen bei atmosphärischem Druck : Physik und Anwendungen für nichtthermische Plasmabehandlung von Polymeroberflächen / von Andrej Ignatkov. 2006
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Inhaltsverzeichnis
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Kurzfassung
Kapitel 1 Einleitung
Kapitel 2 Plasmaverfahren zur Behandlung von Polymeren
2.1 Nicht-thermische Plasmen
2.2 Typen der nicht-thermischen Behandlungsverfahren
2.3 Energiekosten
2.4 Werkstoffe
2.5 Behandlungseffekte
2.6 Anwendungsorientierte Betrachtung von Gasentladungen
2.6.1 Klassifikation der Entladungstypen
2.6.2 Koronaentladungen
2.6.3 Streamerbehaftete Entladungen
2.6.4 Glimm- und glimmähnliche Entladungen
2.7 Zusammenfassende Betrachtungen
Kapitel 3 Versuchsquellen
3.1 Wahl der Anregungsfrequenz
3.2 Aufbau und Funktionsprinzip
3.3 Anpassungsschaltungen
3.4 Betrieb der Plasmaquellen
3.5 Zur Theorie des Hohlkathodeneffektes
Kapitel 4 Experimentelle und theoretische Untersuchungen
4.1 Ziel
4.2 Diagnostikmethoden
4.2.1 Photographie
4.2.2 Elektrische Messungen
4.2.2.1 Messmethoden und Messgenauigkeit
4.2.2.2 Ermittlung elektrischer Parameter
4.2.2.3 Fehlerrechnung
4.2.3 Spektroskopische Messungen
4.3 Ergebnisse der Untersuchungen
4.3.1 Zündverhalten der CCRF-Entladungen
4.3.2 Zwei Formen der CCRF-Entladungen
4.3.3 alpha-Entladung
4.3.3.1 Qualitatives Bild der Entladung
4.3.3.2 Modellrechnungen zur Bestimmung von Plasmaparametern einer He-Entladung
4.3.3.3 Experimentelle Ermittlung von Plasmaparametern
4.3.3.4 Randschichtparameter
4.3.4 gamma-Entladung
Kapitel 5 Anwendungen
5.1 Werkstoffe und Prozessquellen
5.2 Versuchsaufbau
5.3 Diagnostikmethoden
5.4 Experimentelle Ergebnisse
5.4.1 Darstellung der Messwerte
5.4.2 Einfluss der Elektrodenpolarität
5.4.3 Einfluss des Gasflusses und seiner Zusammensetzung
5.4.4 Qualitatives Bild des Behandlungsprozesses
5.4.5 Einfluss der Hohlelektroden
5.4.6 Einfluss des Elektrodenabstandes
5.4.7 Optimierte Behandlungsprozesse
5.4.7.1 Inertes Plasma
5.4.7.2 O2-haltiges Plasma
5.4.7.3 N2-haltiges Plasma
5.4.7.4 H2O-haltiges Plasma
5.4.8 Behandlung von PP-Membranen
5.4.9 Behandlung von PP-Folie
5.4.10 Zusammenfassung und Vergleich mit anderen Behandlungsverfahren
Kapitel 6 Zusammenfassung
Literaturverzeichnis