Plasmaunterstützte Abscheidung diamantähnlicher Schichten für medizinische Anwendungen: Plasmawerkzeuge und Mechanismen / von Gennady Fedosenko. 2002
Inhalt
- Inhaltsverzeichnis
- Einleitung
- Plasmatechnologische Grundlagen
- Synthese diamantähnlicher Schichten
- Abscheidung von DLC-Schichten: Stand der Technik
- Experimenteller Aufbau
- DLC-Schichten: Abscheidung und Charakterisierung
- Medizinische Anwendungen diamantähnlicher Schichten
- Zusammenfassung
- Ausblick
- Anhang
- Literaturverzeichnis
- Danksagung